山东省陶瓷协会
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近日,湖北芯陶静电卡盘项目正式投产,项目位于武汉经开区综合保税区,湖北芯陶成为国内唯一实现从核心陶瓷粉体原材料到电极浆料、多孔陶瓷、贴合胶全链条自主可控的企业,其产品适配先进制程。

总投资超10亿元,计划年产高端静电卡盘 1500 颗、高温加热盘 500 颗。值得一提的是,湖北芯陶不仅是国内唯一可拆解维修 TEL RK6/7 系列、LAM 054 系列等最高端静电卡盘的企业,更成功自主研发与机台通讯协议,使国产卡盘可被国际主流机台无缝识别,144 区 / 150 区精准控温技术达到全球先进水平。
湖北芯陶科技专注半导体高端陶瓷部件的核心企业,主打静电卡盘、高温加热盘,是国内少数实现全链条自主可控的高端卡盘厂商。